低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處新的一種原理。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。電場的設計使廢氣粒子的運動速度較低，一般在零點幾秒內便能使廢氣粒子荷上足夠的電荷，帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，其結果是油煙粒子被吸附到陽極上。因此凈化率非常高，而且特別適用于捕捉粒徑較小和重量較輕的廢氣粒子。采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。
