型號

VR-5200

類型

工作頭

控制器

VR-5000

觀察視野

低倍 (大視野)

15 英寸顯示器上的倍率 12×

橫

24.0 mm

縱

18.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 25×

橫

12.0 mm

縱

9.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 38×

橫

8.0 mm

縱

6.0 mm

15 英寸顯示器上的倍率 50×

橫

縱

4.5 mm

高倍 (高分辨率)

15 英寸顯示器上的倍率 40×

橫

7.6 mm

縱

5.7 mm

15 英寸顯示器上的倍率 80×

橫

3.8 mm

縱

2.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 120×

橫

2.5 mm

縱

1.9 mm

15 英寸顯示器上的倍率 160×

橫

縱

1.4 mm

變焦

1 至 4 倍

高度測量

顯示分辨率

0.1 µm

高度測量范圍

無Z 連接

低倍 (大視野) : 10 mm
高倍 (高分辨率) : 1 mm

有Z 連接

低倍 (大視野) : 50 mm
高倍 (高分辨率) : 30 mm

重復精度σ

無Z 連接

0.4 µm^*1

有Z 連接

1.0 µm^*1

寬度測量

重復精度σ

低倍 (大視野) : 1 µm
高倍 (高分辨率) : 0.5 µm
^*1

圖像拼接功能

全自動測量 (XY自動控制 + Z自動控制) 、自動創建MAP 圖像、自動設定區域^*2

XY 可測量范圍

206 x 104 mm^*2

載物臺

XY 行程

184 x 88 mm (電動)

Z 行程

73 mm (電動)

承受負重

4.5 kg

動作距離

75 mm

攝像元件

1 英寸400 萬像素單色CMOS

投光鏡頭

雙遠心鏡頭 x 2

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

照明系統

觀察用光源

LED環形照明 (紅、藍、綠)

測量用光源

白色LED

數據處理部

基恩士電腦 (操作系統為Windows 10 Pro)

電源

電源電壓

100 至 240 VAC 50/60 Hz

消耗功

200 VA 以下

環境抗耐性

使用環境溫度

+15 至 30 ℃

工作環境濕度

35 至 80 % RH (無凝結)

重量

約 28 kg