廢氣處理技術目前分為物理、化學、生物等三大類，一般可用單一技術或兩種以上技術組合來完成單一臭氣處理工作。常用的物理法是活性碳吸附或酸堿水洗噴淋，化學法是化學洗滌、焚化，生物法則包括生物洗滌、植物液噴灑、生物滴濾、生物濾床等，而在物理法除臭技術上，又研發出了等離子體法除臭。

而采用254nm波長+185 nm波長雙波段高效紫外線燈來處理廢氣在近兩年由國外傳至國內，目前在國內也得到廣泛應用。本質一是應用了紫外線燈UVD185納米波段和O2結合產生的O3臭氧來氧化還原反應廢氣，二是利用185納米短波紫外線的高能量來裂解有機廢氣，三是利用254納米紫外線照射涂有TIO2的媒介產生-OH來氧化有機廢氣。