羅門哈斯UP6040是專為超純水及特殊水處理設(shè)計的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用，使得所有種類的離子，如二氧化硅、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量。由于為不再生型，此新種類的半導(dǎo)級混床樹脂不會受到再生系統(tǒng)的影響，并可在采水中發(fā)揮特性。 UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。

　　一、羅門哈斯拋光樹脂 UP6040應(yīng)用及特性

　　在半導(dǎo)體廠內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的，復(fù)雜的系統(tǒng)，并包含了許多不同的單元，而整個系統(tǒng)的功能及設(shè)計主要是為了得到超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保采水水質(zhì)，但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的一道化學(xué)精制的處理程序，其重要性是不可忽視的。不像對化學(xué)物質(zhì)呈惰性的管路及過濾材料，離子交換樹脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物，所有的待處理水會*的通過樹脂，因此精制混床樹脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的一道防線。除此之外，這些樹脂絕不能釋出任何物質(zhì)，進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因為這些嚴(yán)格的條件，終端精制混床樹脂必須是高的品質(zhì)，且同時必須是準(zhǔn)確的被使用的。

　　二、羅門哈斯拋光樹脂 UP6040工作交換容量

　　與一般的離子交換樹脂應(yīng)用相比較，交換容量在超純水系統(tǒng)的終端精制混床應(yīng)用上并不是主要的因素，因為精制混床的入水水質(zhì)所殘余的不純物，應(yīng)該已是ppb的范圍。因此終端精制混床樹脂床的設(shè)計，是在不超過樹脂的離子交換速率范圍內(nèi)，以流量及床體接觸時間為主要的參考數(shù)據(jù)。

　　三、羅門哈斯拋光樹脂 UP6040流量及壓差

　　流量是非常重要的設(shè)計參數(shù)。對終端精制混床樹脂而言，體積流量不應(yīng)低于30BV/h(3.8gpm/ft3)。在流量高達(dá)50BV/h(6.3gpm/ft3)的操作條件下，也是經(jīng)常所采用的設(shè)計，且證明可得到的結(jié)果，在某些系統(tǒng)，所設(shè)計的流量更是略高過此數(shù)據(jù)。因此流量的設(shè)計是由具經(jīng)驗的超純水處理系統(tǒng)制造商，依系統(tǒng)的供水純度要求及工程參數(shù)之間，折衷權(quán)衡后所獲得的選擇。而 UP6040可以滿足這些設(shè)計中，對終端精制混床樹脂的所有要求。

　　四、羅門哈斯拋光樹脂 UP6040

　　在 UP6040的制造過程中，已嚴(yán)格的控制并減少從樹脂內(nèi)所釋放出的TOC總量。雖然使用了純凈的、預(yù)先混合及不易分離的超純水等級的離子交換樹脂，以得到較少的TOC泄漏量，但是由于儲存、運(yùn)送、樹脂的拿取及加載桶槽等程序，仍會造成采水初期短暫的TOC泄漏釋出。在適切的儲存及正確的樹脂拿取及加載程序下，此TOC的釋放并不會持續(xù)太久的時間。大部份的情形下， UP6040可在6個小時的清洗時間內(nèi)，將TOC的泄漏量減少至1.0ppb以內(nèi)。

　　羅門哈斯公司針對UP6040測試了電阻值、總有機(jī)碳值及離子交換速率的特性，保證每批次的羅門哈斯拋光樹脂AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù)，并可滿足使用單位的需求。

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