PI A-311 高精度PIglide IS平面掃描儀
高性能,緊湊型XY納米定位系統
掃描應用的完美選擇或精密定位
行程達200 毫米 × 200 毫米
低外形
無塵室兼容
負載容量達147 牛
分辨率達1納米
產品概述
帶空氣軸承的高精度PIglide IS XY 平面掃描儀采用扁平設計,可用于替代堆疊XY位移平臺。高效、緊湊的設計安裝空間有限,能夠節省機械空間。
PIMag®磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件,其可直接將驅動力傳輸至運動平臺,且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務,因為其不會與性磁鐵發生不良作用。這樣即使在*的速度下也能保持平穩的運行,同時,在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。
利用來自制造商的數字控制器,操作可提供高級控制算法,以改善動態性和誤差補償。
附件和可選配件
編碼器
PIglide過濾器和空氣預處理器
多軸運動控制器和直接驅動器
機器底座
花崗巖底座板和隔振系統
PI A-311 高精度PIglide IS平面掃描儀
應用領域
PIglide 定位系統特別適合高精度應用,例如檢測系統、激光打標、顯微鏡或掃描。
訂購信息
A-311.AA1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,100毫米 × 100微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.AB1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,100毫米 × 100微米行程,帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.BA1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,150毫米 × 150微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.BB1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,150毫米 × 150微米行程,帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.CA1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,200毫米 × 200微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.CB1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,200毫米 × 200微米行程,帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.DA1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,50毫米 × 50微米行程,增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器,20微米傳感器信號周期,無鐵芯三相線性電機,48伏
A-311.DB1
PIglideISPlanarscanner,空氣軸承,50毫米 × 50微米行程,帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器,1納米傳感器分辨率,無鐵芯三相線性電機,48伏