美國ARS 公司的PS-CC閉循環探針臺用于樣品的非破壞性檢測，測試靈活，可提供0.6T的水平磁場并配備雙極電源。該設備廣泛應用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導性，納米電路的光電特性，量子點和量子線，非破壞性測試等。
該款探針臺使用DE204、DE210或DE215系列冷頭，整個測試過程中無需使用任何制冷劑（液氦/液氮）。可根據不同測試要求，選用不同型號冷頭，以便樣品溫度到達13K、<10K、7K或 <4K。所有的ARS閉式循冷頭均采用高制冷量的一級冷頭，該設計可使系統快速降溫并降低系統熱負載。氣動驅動GM冷頭一級制冷量高，固有振動小，是該領域的理想選擇。
該系統配有硬涂層鋁制真空罩和高拋光的無氧銅防熱輻射屏。高質的真空器件至關重要，可以使樣品獲得更高的真空環境，更潔凈的表面，更好的電接觸。
ARS既生產冷頭又生產探針臺的一站式生產確保了該產品的穩定性能，也利于系統的診斷和服務。
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上圖展示了連接到真空室的4個探針。這是桌子的側面，沒有顯示下面的制冷機。 | 上圖展示了探針臺內部的樣品空間。 |
應用案例：
• 電磁特性
• 微波特性
• 低頻，高頻特性
• MEMS
• 納米電子學
• 超導特性
• 納米器件光電性能
• 量子點及納米線
• 單電子
• 低電流物理特性
特點 | 備注 |
溫度范圍：< 7K-400K | 其他溫區可選 |
樣品區0.6T水平磁場 | |
樣品區振動優于 1微米 | |
12英寸×5英寸不銹鋼真空室 | |
5.5英寸 × 2.875英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
1英寸方形鍍金無氧銅樣品臺 | |
高純石英觀察窗 | |
藍寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至4個三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器 | 溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現快速換樣 |
7:1顯微觀測系統，3微米分辨率，環形光源 | 可升級16:1顯微觀察系統 |
規格及技術參數 | |
制冷方式 | 閉循環制冷，無需液氦 |
溫度范圍 | 7K-400K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K） |
磁場范圍 | -0.6T至+0.6T |
磁體型號 | GMW5403EG 磁場方向水平方向 極面76毫米 水冷需求：2升/分鐘，0.8bar 電源：雙極型電源 電壓±20V 電流±40A 高斯計：LS475DSP 霍爾傳感器LS HGCT-3020 |
溫度穩定性 | 優于50mK |
泵抽真空時間 | 機械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時間 | 約2.5小時至10K（DE204P冷頭） |
真空腔 | 無磁不銹鋼真空腔 12英寸×5英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 5.5英寸 × 2.875英寸 上蓋藍寶石冷窗 熱連接至1級冷頭 |
樣品臺 | 鍍金無氧銅樣品臺 1英寸方形 接地（標準） 絕緣（可選） 偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺 | 手動驅動 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動 | 三級減震，振動小于1微米 |
溫度計安裝 | 4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD溫度計安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD溫度計安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型CX-1070-CU-4L溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫 |
顯微觀測系統 | 標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.024-0.08 光源：環形光源 分辨率：3微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.0090-0.15 光源：環形光源 分辨率：2微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標準） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 單模或多模 |
