ARS納米級(jí)超穩(wěn)超低振動(dòng)型低溫探針臺(tái)的設(shè)計(jì)具有極大的靈活性，可用于無(wú)損器件測(cè)試。探針配置和系統(tǒng)設(shè)計(jì)可以根據(jù)您的具體實(shí)驗(yàn)要求進(jìn)行定制。 系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)溫度配置為低溫5K，可選450K和800K高溫度選項(xiàng)。
探針臺(tái)采用ARS閉式循環(huán)制冷機(jī)，ARS制冷機(jī)為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)GM制冷機(jī)，它具有一級(jí)冷臺(tái)制冷能力高和固有的低振動(dòng)相結(jié)合的特點(diǎn)，使其成為納米科學(xué)和敏感器件測(cè)量的理想選擇。 ARS探針臺(tái)都采用高質(zhì)量的真空元件，高拋光的不銹鋼真空腔室和鍍鎳的高純銅輻射屏蔽提供了干凈的樣品環(huán)境。低發(fā)射率和高導(dǎo)熱率的鍍鎳和銅防熱輻射屏使樣品臺(tái)具有更大的冷卻能力。
ARS不僅是探針臺(tái)的生產(chǎn)商，也是制冷機(jī)的生產(chǎn)商，這確保了集成制造的一致性，并能對(duì)系統(tǒng)提供整體的售后保障。
應(yīng)用案例：
• 電磁特性
• 微波特性
• 低頻，高頻特性
• MEMS
• 納米電子學(xué)
• 超導(dǎo)特性
• 納米器件光電性能
• 量子點(diǎn)及納米線
• 單電子
• 低電流物理特性
特點(diǎn) | 備注 |
溫度范圍：< 6K-350K | |
振動(dòng)優(yōu)于50納米 | |
10英寸不銹鋼真空室 | |
7英寸鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) | |
高純石英觀察窗 | |
藍(lán)寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至6個(gè)三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統(tǒng)：高精度4通道控溫儀、用于測(cè)量樣品溫度的校準(zhǔn)行硅二極管溫度計(jì)（±12mK）、加熱器 | 溫度計(jì)安裝位置： 1、冷頭溫度計(jì)，用于診斷 2、樣品臺(tái)溫度計(jì)及加熱器，用于控制樣品臺(tái)溫度，實(shí)現(xiàn)精確控溫 3、樣品溫度計(jì)，用于精確測(cè)量樣品溫度 4、冷屏溫度計(jì)及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實(shí)現(xiàn)快速換樣 |
7:1顯微觀測(cè)系統(tǒng)，3微米分辨率，環(huán)形光源 | 可升級(jí)16:1顯微觀察系統(tǒng) |
規(guī)格及技術(shù)參數(shù) | |
制冷方式 | 閉循環(huán)制冷，無(wú)需液氦 |
溫度范圍 | 6K-350K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺(tái)溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺(tái)高溫度可達(dá)800K） |
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于50mK |
泵抽真空時(shí)間 | 機(jī)械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時(shí)間 | 約4小時(shí)至10K（DE2010S冷頭） |
真空腔 | 不銹鋼真空腔 直徑10英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無(wú)氧銅防熱輻射屏 直徑7英寸 上蓋藍(lán)寶石冷窗 熱連接至1級(jí)冷頭 |
樣品臺(tái) | 鍍金無(wú)氧銅樣品臺(tái) 2.25英寸直徑 |
樣品臺(tái)連接 | 接地（標(biāo)準(zhǔn)） 絕緣（可選） 偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺(tái) | 手動(dòng)驅(qū)動(dòng) 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標(biāo)準(zhǔn)） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動(dòng) | 氦氣減震，< 30-50納米（峰對(duì)峰） |
溫度計(jì)安裝 | 4個(gè)溫度計(jì)，2套加熱器 4個(gè)溫度計(jì)位置： 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于樣品臺(tái)底部用于控溫 1個(gè)DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個(gè)校準(zhǔn)型DT-670-CU-4M溫度計(jì)安裝在樣品臺(tái)頂部樣品附近，用于精確測(cè)溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺(tái)底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫 |
顯微觀測(cè)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn)7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.024-0.08 光源：環(huán)形光源 分辨率：3微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.0090-0.15 光源：環(huán)形光源 分辨率：2微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標(biāo)準(zhǔn)） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 單模或多模 |
典型案例
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PS-CC帶定制壓電式XY方向定位的顯微光致發(fā)光無(wú)液氦低溫探針臺(tái) | PS-CC帶XYZ方向移動(dòng)和物鏡的超低振動(dòng)低溫探針臺(tái) |
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