ARS納米級超穩超低振動型低溫探針臺的設計具有極大的靈活性，可用于無損器件測試。探針配置和系統設計可以根據您的具體實驗要求進行定制。 系統標準溫度配置為低溫5K，可選450K和800K高溫度選項。
探針臺采用ARS閉式循環制冷機，ARS制冷機為氣動驅動GM制冷機，它具有一級冷臺制冷能力高和固有的低振動相結合的特點，使其成為納米科學和敏感器件測量的理想選擇。 ARS探針臺都采用高質量的真空元件，高拋光的不銹鋼真空腔室和鍍鎳的高純銅輻射屏蔽提供了干凈的樣品環境。低發射率和高導熱率的鍍鎳和銅防熱輻射屏使樣品臺具有更大的冷卻能力。
ARS不僅是探針臺的生產商，也是制冷機的生產商，這確保了集成制造的一致性，并能對系統提供整體的售后保障。
應用案例：
• 電磁特性
• 微波特性
• 低頻，高頻特性
• MEMS
• 納米電子學
• 超導特性
• 納米器件光電性能
• 量子點及納米線
• 單電子
• 低電流物理特性
特點 | 備注 |
溫度范圍：< 6K-350K | |
振動優于50納米 | |
10英寸不銹鋼真空室 | |
7英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
2.25英寸鍍金無氧銅樣品臺 | |
高純石英觀察窗 | |
藍寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至6個三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統：高精度4通道控溫儀、用于測量樣品溫度的校準行硅二極管溫度計（±12mK）、加熱器 | 溫度計安裝位置： 1、冷頭溫度計，用于診斷 2、樣品臺溫度計及加熱器，用于控制樣品臺溫度，實現精確控溫 3、樣品溫度計，用于精確測量樣品溫度 4、冷屏溫度計及加熱器，用于控制加熱冷屏溫度，實現快速換樣 |
7:1顯微觀測系統，3微米分辨率，環形光源 | 可升級16:1顯微觀察系統 |
規格及技術參數 | |
制冷方式 | 閉循環制冷，無需液氦 |
溫度范圍 | 6K-350K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺溫度 < 4K,安裝高溫隔熱臺高溫度可達800K） |
溫度穩定性 | 優于50mK |
泵抽真空時間 | 機械泵約45分鐘 分子泵約10分鐘 |
降溫時間 | 約4小時至10K（DE2010S冷頭） |
真空腔 | 不銹鋼真空腔 直徑10英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 直徑7英寸 上蓋藍寶石冷窗 熱連接至1級冷頭 |
樣品臺 | 鍍金無氧銅樣品臺 2.25英寸直徑 |
樣品臺連接 | 接地（標準） 絕緣（可選） 偏壓，通過同軸電纜至外部BNC接頭（可選） 偏壓到Guard，通過同軸或三同軸電纜連接到外部三同軸接頭（可選） |
探針臂位移臺 | 手動驅動 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標準） 2英寸行程（可選） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動 | 氦氣減震，< 30-50納米（峰對峰） |
溫度計安裝 | 4個溫度計，2套加熱器 4個溫度計位置： 1個DT-670B-SD溫度計安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個DT-670B-SD安裝于樣品臺底部用于控溫 1個DT-670B-SD安裝于冷頭位置用于診斷 1個校準型DT-670-CU-4M溫度計安裝在樣品臺頂部樣品附近，用于精確測溫 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統快速升溫 |
顯微觀測系統 | 標準7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.024-0.08 光源：環形光源 分辨率：3微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數值孔徑：0.0090-0.15 光源：環形光源 分辨率：2微米 安裝手動三維位移臺 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標準） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 單?；蚨嗄?/span> |
典型案例
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PS-CC帶定制壓電式XY方向定位的顯微光致發光無液氦低溫探針臺 | PS-CC帶XYZ方向移動和物鏡的超低振動低溫探針臺 |
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