Physik Instrumente (PI) 線性載物臺
PI為微納米測量要求提供了多種線性載物臺定位系統。
納米定位線性平臺可以基于三種不同的原理:帶無摩擦彎曲直線導軌的壓電驅動器;帶空氣軸承的磁力直線電機;和“無軸承” - 由磁懸浮引導。PI 提供三種解決方案。
微定位電動直線載物臺基于旋轉步進和伺服電機或直線電機,由交叉滾子和直線軸承引導。
有幾種類型的驅動器可供選擇:旋轉步進電機,旋轉伺服電機(無刷和有刷),帶齒輪箱的伺服電機,用于更高的扭矩/分辨率,磁性直線電機和壓電直線電機。使用壓電直線電機,不需要驅動絲杠,齒輪和聯軸器元件,從而減小了尺寸和復雜性,同時提高了可靠性。壓電電機在靜止時自鎖,提供出色的長期穩定性。
位置反饋由線性編碼器或安裝在電機上的旋轉編碼器提供。
PI 精選的緊湊型線性載物臺和旋轉定位器可在非常小的封裝中提供高精度
空氣軸承
空氣軸承級用于需要無振動運動,速度需要高度恒定,并要求佳角度可重復性的地方。
空氣軸承可避免摩擦、磨損和間隙效應。PIglide 直線軸承、旋轉軸承和球面軸承是精密部件,可集成和電動化,適用于 OEM、工業和研究市場
Physik Instrumente (PI) 線性載物臺