上海雋思實驗儀器有限公司具有自主開發、設計能力。服務于電子、電力、通訊、航空航天等行業;多年來,公司以“真摯的服務、優秀的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*,更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
公司坐落于中國上海,奉賢區柘林鎮工業園區。公司擁有多臺*的專業生產設備,公司是一個專注多年熱處理設備、儀器設備的生產廠家,擁有高的技術人才,高素質的工作團隊,豐富的生產經驗。主要業務項目有:半導體濕法設備, 硅片刻蝕機,清洗設備,HMDS預處理系統,HMDS烤箱,無塵烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,真空烤箱,真空無氧固化烤箱,干燥烘箱,黑蒜設備,環境可靠性設備,電線電纜檢測儀器等設備,同時可根據客戶要求設計非標類的產品。
真誠的希望各界用戶給我們提出寶貴的意見及建議,以便我公司為您提供更周到、更完善的服務,做到讓您滿意!
儀器儀表
等離子去膠機,等離子表面處理機 產品信息
離子去膠機,等離子表面處理機簡介
等離子去膠機的真空腔采用石英管結構,適于對基片進行去膠、清洗等工藝。該設備具有去膠工藝簡單、可靠、*、速率快、成品率高、處 理后無酸氣廢水等殘留等特點。等離子表面處理機采用國頻源,其電磁兼容性能優良、高頻輻射小,符合國家環保規定。本機外形美觀大方,操作簡便。
等離子去膠機,等離子表面處理機主要配置及技術指標:
l、電源:單相220V 50Hz,2KW
2、射頻源:國產, f=13.56MHz 50~500W連續可調,全自動匹配
3、氣體控制:氧氣和氮氣氣兩路,美國進口浮子流量計控制
4、真空獲得方式:2L機械泵
5、真空度:優于-100KPa
6、氣體流量:0~5L/min
7、真空腔:石英腔。尺寸:¢200X300mm
8、產能:每次20片(2"-4")
9、觸摸屏+PLC控制
l0、控制方式:自動/手動,自動模式下可實現一鍵完成整個工藝過程
l1、整機采用松下plc和觸摸屏控制
12、反射自動匹配
a、負荷電流:10ARMS
b、負荷電壓:200VRMS
c、傳輸效率:>90%
d、匹配時間:3~5s
e、可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
f、可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
g、主電容:空氣電容
等離子去膠機的真空腔采用石英管結構,適于對基片進行去膠、清洗等工藝。該設備具有去膠工藝簡單、可靠、*、速率快、成品率高、處 理后無酸氣廢水等殘留等特點。等離子表面處理機采用國頻源,其電磁兼容性能優良、高頻輻射小,符合國家環保規定。本機外形美觀大方,操作簡便。
等離子去膠機,等離子表面處理機主要配置及技術指標:
l、電源:單相220V 50Hz,2KW
2、射頻源:國產, f=13.56MHz 50~500W連續可調,全自動匹配
3、氣體控制:氧氣和氮氣氣兩路,美國進口浮子流量計控制
4、真空獲得方式:2L機械泵
5、真空度:優于-100KPa
6、氣體流量:0~5L/min
7、真空腔:石英腔。尺寸:¢200X300mm
8、產能:每次20片(2"-4")
9、觸摸屏+PLC控制
l0、控制方式:自動/手動,自動模式下可實現一鍵完成整個工藝過程
l1、整機采用松下plc和觸摸屏控制
12、反射自動匹配
a、負荷電流:10ARMS
b、負荷電壓:200VRMS
c、傳輸效率:>90%
d、匹配時間:3~5s
e、可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
f、可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
g、主電容:空氣電容