無氧烘箱，光刻膠固化烘箱應用工藝
無氧烤箱應用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環境，特別適合集成電路/半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于生產企業、高等院校、科研等場所。
無氧烘箱，光刻膠固化烘箱特點
精度高，可調整；
溫度穩定性強，可重復性高；
大容量，可批量生產；
兼容性好，適用于2--12寸晶圓；
智能化，操作方便，一鍵運行，無需人工值守；
快速降溫，具有輔助降溫裝置，提高生產效率；
無氧烘箱性能：
溫度范圍：RT+50～450℃；
內箱尺寸：多尺寸定制；
材質：SUS304/316不銹鋼；
氧含量：≤ 20ppm;
數據輸出：溫度記錄/氧濃度記錄
保護功能：短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過電流保護、電磁門禁保護
可選功能：
潔凈度：class100
真空度：10pa
自動上下料：機械手
工業自動化：MES/GEM
無氧烘箱使用環境
環境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
周圍無強烈震動；
無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，
周圍無強烈電磁場影響；
周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；
