產品介紹:
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。
產品特點:
1. 自動化功能
高度集成自動化功能追求高效率檢測
降低檢測中的人為操作誤差
4英寸自動馬達臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
- 采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。
大范圍水平掃描