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日立 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/7/20 11:01:02
  • 訪問(wèn)次數(shù)177
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司專(zhuān)注于進(jìn)口品牌測(cè)量?jī)x器銷(xiāo)售和服務(wù)的公司,自創(chuàng)辦以來(lái),一直致力于與行業(yè)內(nèi)享有盛名的品牌合作,為客戶(hù)提供全面的進(jìn)口品質(zhì)測(cè)量解決方案。 諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司已形成以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國(guó)ZYGO白光干涉儀、美國(guó)KLA膜厚臺(tái)階儀、海克斯康影像儀等為代表的進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。 作為實(shí)驗(yàn)室解決方案與精密測(cè)量的專(zhuān)業(yè)服務(wù)商,諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司提供售前診斷、產(chǎn)品銷(xiāo)售及售后技術(shù)支持,目前服務(wù)的客戶(hù)500多家,主要涵蓋半導(dǎo)體元器件、材料、電子、院校、汽車(chē)、模具、機(jī)械、航天航空、、塑膠行業(yè)。 諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司匯聚世界測(cè)量品牌,集聚一批優(yōu)秀的管理銷(xiāo)售人員,諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司把世界各品牌的儀器帶到中國(guó)來(lái),為推動(dòng)中國(guó)科技的發(fā)展架起橋梁。進(jìn)口品質(zhì)測(cè)量解決方案作為實(shí)驗(yàn)室解決方案與精密測(cè)量的專(zhuān)業(yè)服務(wù)商,諾賽德自動(dòng)化設(shè)備(蘇州)有限公司提供售前診斷、產(chǎn)品銷(xiāo)售及售后技術(shù)支持,目前服務(wù)的客戶(hù)500多家,主要涵蓋半導(dǎo)體元器件、材料、電子、院校、汽車(chē)、模具、機(jī)械、航天航空、、塑膠等行業(yè)。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)專(zhuān)業(yè)化覆蓋性廣的經(jīng)營(yíng)網(wǎng)絡(luò)和專(zhuān)業(yè)化的營(yíng)銷(xiāo)團(tuán)隊(duì),以開(kāi)放的態(tài)度與國(guó)內(nèi)外廠家進(jìn)行合作,以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國(guó)ZYGO白光干涉儀、美國(guó)KLA膜厚臺(tái)階儀、??怂箍涤跋駜x等為代表的進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。
光學(xué)輪廓儀
產(chǎn)品介紹 現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
日立 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 產(chǎn)品信息


產(chǎn)品介紹:


       現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


       "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。


       通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


       此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。


       Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶(hù)支持功能,通過(guò)此功能用戶(hù)更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶(hù)充分發(fā)揮儀器的性能。


*1   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品特點(diǎn):


  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

  • 運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度*2


*2   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品規(guī)格:


項(xiàng)目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4

臺(tái)

樣品臺(tái)控制3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái))5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

動(dòng)

X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3      減速模式下觀察


*4      以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率


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