設備原理
通過搜集原子發射光譜并分析特征波段/波長的譜線實現對等離子體的監控和反饋控制。
設備構成
● 等離子體發光光譜儀
高性能光譜儀，覆蓋紫外到紅外波段，精度/靈敏度根據工藝需求選擇，可檢測絕大部分微加工制備工藝涉及的元素。
● 等離子體監控&分析軟件
針對反饋控制，終點檢測，穩定性監控等多種工藝需求定制，可實時顯示光譜變化三維圖，優化積分算法處理判定。根據用戶自定義添加的光譜數據庫。
● 光學系統集成
可定制化系統集成，真空外檢測和真空內檢測多種集成方式，防鍍膜設計光學探頭。
主要功能和特色
● 實時等離子體光譜采集，全數據時域&頻域光譜分析
● 自動譜圖尋峰及原子譜線數據庫匹配
● 等離子體光譜單一峰位&連續波段積分強度監視
● Recipe編譯/執行操作模式
主要應用
● 等離子體刻蝕終點檢測（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）
● 等離子體穩定度均勻度檢測（大面積離子源，腔內等離子體分布）
● 等離子體反應氣體組分控制（反應濺射沉積，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）
| 高精度等離子體光譜檢測儀 | 高信噪比離子體光譜監測儀 | 多通道等離子體光譜監測儀 | |
| 主機型號 | CrookesI | CrookesI-Pro | CrookesI-Trident |
| 通道數量 | 1 | 1 | 3 |
| 光譜波長范圍 | 200 ~ 1100 nm | 220 ~ 980 nm | 200 ~ 1100 nm |
| 光譜分辨率 | 1.3 nm | 1.8 nm | 1.3 nm / 1.8 nm |
| 波長精度 | 0.12 nm | 0.2 nm | 0.12 nm/ 0.2 nm |
| 信噪比 | 500 : 1 | 1000 : 1 | 500 : 1 / 1000 : 1 |
| I/O接口 | 2 路模擬輸出、4 路模擬輸入、8 路數字輸入輸出 | ||
| 計算機通信接口 | GPIB / RS232 / USB | ||
| 尺寸 | 195 × 275 × 90 mm3 | ||
| 重量 | 2.5 kg | 2.5 kg | 3.5 kg |
| 用電 | 單相 220 V, 5 A | ||
