產品特點
?30kV 加速電壓下二次電子圖像分辨率高達 3.0nm
?超大樣品觀察 - 直徑 300mm,高度 210mm
?智能化導航 - 導航相機讓樣品定位更加便捷
?關聯顯微分析 - 與蔡司的光學顯微鏡聯用
?數據完整以及工作流程自動化
應用領域
?汽車行業,如清潔度分析,失效分析
?鋼鐵行業,如夾雜物分析,相分析
?電子半導體行業,如缺陷檢測,斷面失效分析
?地礦行業,如巖相分析,自動礦物分析
?制造與裝配工業,如質量分析,非金屬夾雜物分析
?材料科學研究,樣品表征
?生命科學,動植物分析,微生物研究
技術參數 & 應用領域
| 蔡司 EVO 10 | 蔡司 EVO 15 | 蔡司 EVO 25 | |
分辨率 | 2nm,3nm @30kV SE 配有 LaB6,W |
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6nm,8nm @3kV SE 配有 LaB6,W |
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9nm,20nm @1kV SE 配有 LaB6,W |
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加速電壓 | 0.2 至 30kV |
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探針電流 | 0.5pA 至 5μA |
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放大倍率 |
| < 7-1,000,000x | < 5- 1 000,000x | < 5- 1 000,000x |
視場 | 在分析工作距離 (AWD) 處為 6 mm |
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X 射線分析 | 在分析工作距離處為 8.5 mm 和 35°出射角 |
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OptiBeam(1) 模式 | 分辨率、景深、分析、視場和魚眼(2) |
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壓力范圍 | 10-133 Pa (EasyVP) 10- -400Pa (可變壓力) |
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10- 3000Pa (擴展壓力) |
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可選探測器 | SE - Everhart-Thornley 二次電子探測器(標配) | CCD - 拉曼光譜用電荷耦合器件 | ||
HDBSD - 固態背散射電子,4 或 5 象限 YAG-BSD - YAG 晶體背散射電子探測器 | ||||
VPSE-G4- 可變壓力二次電子探測器 C2D - 級聯電流探測器 C2DX - 擴展級聯電流探測器 | ||||
SCD - 樣品電流探測器 | ||||
STEM - 掃描透射電子顯微鏡探測器 | ||||
CL - 陰極熒光探測器 | ||||
EVO Element - 能譜儀(EDS) | ||||
WDS - 波譜儀 | ||||
EBSD - 電子背散射衍射探測器 |