1、大批量半導體芯片高精密在線清洗系統。
2、噴淋清洗方式,高效清除助焊劑等有機、無機污染物。
3、多段超長化學清洗+多段DI水漂洗+超長熱風干燥工作流程。
4、清洗液自動添加;DI水自動添加。
5、清洗,漂洗,風切壓力可調節。
6、大流量清洗,清洗液和DI水可滲透至等芯片底部,清洗效果。
7、配備漂洗DI水電阻率監控系統。
8、風刀風切+超長紅外熱風循環干燥系統。
9、LC控制系統,中/英文圖形化操作界面,程序方便設置,更改,存儲和調用。
10、SUS304不銹鋼機身,管道及零部件,耐溫,耐酸性、堿性等清洗液。
11、可與前后設備連接,組成自動清洗線。
12、清洗液濃度檢測等多種選配功能。