超高分辨率冷場發射
為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍
?沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍
?采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的優質性能
?(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
?采用污染小、高真空樣品倉
?運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度
| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 二次電子分辨率 | Regulus 8100：0.7 nm（加速電壓15 kV）；0.8 nm（著陸電壓1 kV） Regulus 8220/8230/8240：0.6 nm（加速電壓 15 kV）；0.7 nm（著陸電壓 1 kV） |
| 著陸電壓 | Regulus 8100：0.1～2 kV Regulus 8220/8230/8240：0.01～20 kV |
| 放大倍率 | Regulus 8100：20～1,000,000倍 Regulus 8220/8230/8240：20～2,000,000倍 |
| 樣品臺控制 | Regulus 8100：3軸馬達臺（可選5軸馬達臺） Regulus 8220/8230/8240：5軸馬達驅動 |
