五大分析功能
提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，粗糙度分析包括線粗糙度、I面粗糙度、平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能
提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
高精度、高重復(fù)性
采用針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)保證測(cè)量精度高
?測(cè)量與分析同界面操作，無須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能
?可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程
?結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程
?幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全
?一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能
?可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 顯微物鏡 | 10×、20×（選配）、50×、100× |
| 光學(xué)原理 | 共聚焦三維成像原理 |
| 視野尺寸 | 1.2×1.2mm~0.12×0.12mm |
| 綜合放大倍率 | 198-39966 |
| 光源 | 白光LED |
| 受光元件 | 超高精細(xì)彩色CMOS |
| Z軸測(cè)量重復(fù)性 | ＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測(cè)量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣塊 |
| Z軸測(cè)量精度 | ±1.5% |
| Z軸顯示分辨率 | 1nm |
| Z軸掃描范圍 | 10mm |
| XY軸測(cè)量重復(fù)性 | ＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測(cè)80um標(biāo)準(zhǔn)樣塊 |
| XY軸測(cè)量精度 | ＜0.5% |
| 載物臺(tái)移動(dòng)范圍 | 230 x 230mm |
| 載物臺(tái)負(fù)載 | 10kg |
| Mapping測(cè)量功能 | 可按模板進(jìn)行多個(gè)區(qū)域的自動(dòng)測(cè)量 |
| 光源壽命 | 60000小時(shí) |
| 絨面金字塔測(cè)量 | 1、表面二維、三維結(jié)構(gòu)； 2、單個(gè)金字塔的高寬測(cè)量； 3、金字塔計(jì)數(shù)功能：可自動(dòng)統(tǒng)計(jì)出單位面積內(nèi)的晶粒數(shù)量，并在視圖上以十字符號(hào)標(biāo)記出晶粒位置，不同規(guī)格金字塔的數(shù)量分布圖。 |
| 柵線測(cè)量 | 1、柵線高度、寬測(cè)量功能：?jiǎn)我晥?chǎng)內(nèi)的剖面線數(shù)量可調(diào)節(jié)為不低于12條，高度和寬度數(shù)據(jù)自動(dòng)計(jì)算，且自動(dòng)計(jì)算出高寬比；同時(shí)提供高寬比的終端用戶輸入標(biāo)稱值功能，并可根據(jù)標(biāo)稱值自動(dòng)進(jìn)行OK/NG的判定； 2、柵線區(qū)域自動(dòng)劃分功能：可自動(dòng)圈出柵線的邊緣，并自動(dòng)計(jì)算出該區(qū)域內(nèi)柵線的面積、體積等參數(shù)； 3、柵線自動(dòng)測(cè)量功能：具備多條柵線的自動(dòng)搜索測(cè)量功能，能夠根據(jù)不同規(guī)格的基板來生成測(cè)量模板并完成自動(dòng)測(cè)量。 |
| Pad點(diǎn)測(cè)量 | 1、將Pad點(diǎn)按6×7分區(qū)域測(cè)量，通過拼接可得到3D全形貌； 2、彎曲起伏的形貌表面進(jìn)行高度差異的測(cè)量，由此可以分析Pad點(diǎn)的印刷效果。 |
| 真彩圖像功能 | 可掃描出表面的真彩圖像，以便進(jìn)行污染區(qū)分 |
| 凹槽測(cè)量功能 | 針對(duì)上下同寬凹槽、上寬下窄凹槽，均能夠進(jìn)行較好的3D輪廓圖像重建并實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的深度和寬度測(cè)量分析 |
| 鏡頭防撞保護(hù) | 軟件ZSTOP設(shè)置限位防撞保護(hù)、硬件電子傳感器防撞保護(hù) |
| 噪聲評(píng)價(jià) | 具備納米級(jí)分辨率的環(huán)境噪聲檢測(cè)功能模塊 |
| 表面形貌重復(fù)性Str | 具備表面形貌重復(fù)性Str參數(shù)的一鍵式分析功能 |
| 外形尺寸 | 540*379*594mm |
| 總重量 | 45kg |
| 工作電源 | AC220V/50Hz |
| 工作環(huán)境 | 溫度10℃~35℃，溫度梯度 < 1℃/15分鐘，濕度30~80% 振動(dòng)<0.002g，低于15Hz |
