一、CCD電動超高真空插板閥概述：

CCD電動超高真空插板閥是通過電動裝置驅動閥桿帶動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置CCD型電動超高真空插板閥主要零件材料
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。
CCD型電動超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)

在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。
真空閥門具有下列特點：

壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70
~
150℃的范圍。

對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的致密性。

按介質壓力真空閥門可分成四組：

低真空閥門：介質壓力p=760~1毫米汞柱；

2）中真空閥門：p=1×10-3
毫米汞柱。

3）高真空閥門：p=1×10-4
~1×10-7
毫米汞柱；

4）超高真空閥門：p≤1×10-8
毫米汞柱。

作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球
形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因為旋塞閥需要用油潤滑，使油汽可能進入真空系統，而這是不允許的。真空閥門既可用現場
手控和遙控，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）、氣動和液動控制。
真空閥門關閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑（口徑在10毫米以下）的截止閥關閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
真空閥門在真空系統中的作用
開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，三科閥門機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。

2.控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。

3.定量充氣，三科閥門在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。

二、CCD電動超高真空插板閥安裝尺寸：