主要特點 / MAIN FEATURE
主要特點 / MAIN FEATURE
●結構緊湊、操作簡單、節約成本
●結構緊湊、操作簡單、節約成本
產品應用 / APPLICATIONS
● 表面科學,超薄膜層,有機分子層。
產品應用 / APPLICATIONS
● 表面科學,超薄膜層,有機分子層。
技術參數 / TECHNICAL DATA
技術參數 / TECHNICAL DATA
CMP-MBE | 8英寸不銹鋼球形真空腔體 |
本底真空 | <1×10-10 mbar |
四軸高低溫樣品臺 | X/Y方向移動:±5mm; |
蒸發源 | 5個 |
離子槍 | 2~5KeV離子槍,配備Port Aligner |
可選項 | (1)QCM;(2)紅外測溫儀;(3)反射式高能電子衍射儀 |