產(chǎn)品介紹:
HS-CLT少子壽命測試儀是一款功能異常強大的少子壽命測試儀，不僅適用于硅片少子壽命的測量，更適用于硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶等多種不規(guī)則形狀硅少子壽命的測量。少子測試量程從1μs到20000μs,硅料電阻率下限達0.1Ω.cm,（可擴展至0.01Ω.cm）。測試過程全程動態(tài)曲線監(jiān)控，少子壽命測量可靈敏地反映單晶體重金屬污染及陷阱效應(yīng)表面復(fù)合效應(yīng)等缺陷情況，是原生多晶硅料及半導體及太陽能拉晶企業(yè)*少子壽命測量儀器。

產(chǎn)品特點

■測試范圍廣：包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片（用于硅棒尾部反切2mm以上）等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測量。

■主要應(yīng)用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的進廠、出廠檢查，生產(chǎn)工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。

■適用于低阻硅料少子壽命的測量，電阻率測量范圍可達ρ＞0.1Ω·cm（可擴展至0.01Ω·cm），完*了微波光電導無法檢測低阻單晶硅的問題。
■全程監(jiān)控動態(tài)測試過程，避免了微波光電導（u-PCD）無法觀測晶體硅陷阱效應(yīng)，表面復(fù)合效應(yīng)缺陷的問題。
■貫穿深度大，真正體現(xiàn)了少子的體壽命的測量，避免了表面復(fù)合效應(yīng)的干擾。
■專業(yè)定制樣品架zui大程度地滿足了原生多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)測試多種形狀的硅材料少子壽命的要求，包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。

■性價比高，價格遠低于國外國外產(chǎn)品，*程度地降低了企業(yè)的測試成本。

*工作條件

■溫度：23±2℃
■濕度：60%~70%
■無強磁場、不與高頻設(shè)備鄰近

技術(shù)指標

■主機構(gòu)成：HS-CLT主機1臺,HS-CAL高級讀顯機１臺，測試樣片1片，光源線，信號線，光源電極板，防塵罩，砝碼，立柱，樣品托架

■測試范圍廣：硅半導體材料-硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片（用于硅棒尾部反切2mm以上）等，鍺半導體材料，拋光，研磨，裸片多種類型都可測試
■少子壽命測試范圍:1μs-20000μs

■ 電阻率范圍：0.1Ω.cm-10000Ω.cm

■ 激光波長：904-905nm/1.06-1.07um

■工作頻率：30MHz

■低輸出阻抗，輸出功率＞1W

■電源：～220V 50Hz 功耗＜50W

■檢測分辨率：0.1﹪。