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上海伯東代理美國 KRI射頻離子源 RFICP 380

參考價	￥ 10
訂貨量	≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/5/1 9:21:13
訪問次數(shù)141

產(chǎn)品標簽:

射頻離子源離子源清洗 KRI 離子源射頻離子源 RFICP 380

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公司介紹主營產(chǎn)品

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司()主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務，99% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 離子源, *原廠*.
KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
離子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射頻技術產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.

上海伯東代理美國 KRI射頻離子源 RFICP 380 產(chǎn)品信息

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 離子源, *原廠*.

KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

離子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射頻技術產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O₂, N₂, H_2,others

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數(shù)：

射頻離子源型號	RFICP 380
Discharge 陽極	射頻 RFICP
離子束流	>1500 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	39 cm
直徑	59 cm
中和器	LFN 2000