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上海伯東代理美國KRI 射頻離子源 RFICP 140

參考價 1320000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱伯東企業(上海)有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/5/1 16:24:06
  • 訪問次數124
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伯東公司成立于1953 年,范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司()主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作,集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業提供真空服務,覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。上海伯東代理品牌包含:德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機,美國HVA 真空閥門,美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機,離子蝕刻機,真空鍍膜系統及配套真空零配件等。上海伯東作為國際真空品牌代理商,全權負責在中國地區的銷售和維修服務,99% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師;擁有*的拆解,維修,校正能力并提供24小時在線服務。
上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.
離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.
上海伯東代理美國KRI 射頻離子源 RFICP 140 產品信息

上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 離子束可聚焦, 平行, 散射.

離子束流: >600 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求.

離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝.

非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕工藝.


伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術參數:

型號

RFICP 140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000


伯東KRI 考夫曼離子源 RFICP 140 應用領域:

1.預清洗

2.表面改性

3.輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,

4.濺鍍和蒸發鍍膜 PC

5.離子濺射沉積和多層結構 IBSD

6.離子蝕刻 IBE


若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生  


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