NANO-MASTER 等離子清洗和灰化系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，微波等離子清洗機(jī)可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

儀器的選配：

• 真空泵 ： 真空泵組，如，抽吸能力大250m3/h
• 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器（可支持到4路）
• 旋轉(zhuǎn)臺(tái)：鋁，直徑350mm,速度可調(diào)
• ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

NPC-4000微波等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 緊湊型立式系統(tǒng)
• 自動(dòng)上下載片
• 帶Load Lock
• 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
• 兼容100級(jí)超凈間使用
• 淋浴頭、ICP或微波等離子源
• 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
• RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺(tái)
• 全自動(dòng)或手動(dòng)RF調(diào)諧
• zui多可支持8個(gè)MFC帶電拋光的氣體管路
• PC計(jì)算機(jī)控制的氣動(dòng)閥
• 帶密碼保護(hù)的多級(jí)訪問(wèn)控制
• 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
• 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
• 250 l/s的渦輪分子泵
• 極限真空為5x10-7Torr
• 完整的安全聯(lián)鎖