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KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京燕京電子有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/5/27 9:15:02
  • 訪問次數225
產品標簽:

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北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊資金2124萬元,公司位于北京城東北部酒仙橋的中關村電子城科技園區內,建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。公司成立29年以來,燕京電子一貫秉承"以科技為先導,以服務為根本"的宗旨,為科研院所和生產企業提供的儀器設備及解決方案,以其良好的企業形象和品牌價值,發展成了業內口碑好的儀器設備服務商之一。 燕京電子一直以"科技"的姿態,將的儀器、技術和解決方案引入國內,并依托于公司強大的技術力量,為客戶創造價值,幫助客戶成功。目前,公司已經形成多個產品系列,如電子測量儀器、表面物性分析儀器、生命科 學及化學分析儀器、等離子表面處理設備等;產品應用領域包括物理學、光學、材料科學、納米技術、環境及食品安全等領域;客戶覆蓋了全國各科研機構、大 學實驗室和企業研發機構,與他們建立了長期的合作關系。 燕京電子堅持以客戶為導向,強化服務意識,提高服務質量。公司設有市場部和銷售部,擁有專業的技術支持團隊和商務操作團隊,為客戶提供專業化的售前、售中、售后服務,地節約客戶的資金成本和時間成本,與客戶共同發展。公司設有獨立測試演示中心,引進了等離子表面處理設備、鎖相放大器,信號發生器等樣機,為客戶提供樣機操作演示,樣品測試和產品代工服務,滿足客戶的需求。 北京燕京電子有限公司期待與您的真誠合作!
電子測量設備
KLOE微流控芯片光刻機/曝光機UV-KUB系列圖片簡介法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗
KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 產品信息

KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列


圖片

 

簡介


法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗,其研發的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統,結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理可達直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其zui小分辨率可達2μm,發散角小于2°

本系統適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。


規格參數


 

項目

UV-KUB 2

UV-KUB 3

最小分辨率

2 μm

2 μm

光源波長

365 nm / 385 nm / 405 nm

365 nm

能量密度

25 mW / cm2 ± 10 %

30 mW / cm2 ± 10 %

熱效應升溫

< 1°C

< 1°C

曝光時間

1s~18 hours

1s~18 hours

存儲程序數量

10個

無限制

對準分辨率

/

 < 3 μm

外形尺寸

260 x 260 x 260 mm3

480 x 480 x 480 mm3

重量

8.2 kg

55 kg

顯示屏

彩色觸摸屏5.7 inches

彩色觸摸屏15.6 inches

 

 

功能圖解


UV-KUB 2型光刻機,是國際市場上一款采用UV-LED光源系統的光刻機,其配備了基于LED光源的光學頭,使用壽命大大提高,結構小巧,性價比高,非常適合實驗室應用。

 

UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機,光源為365nm,其觸摸屏和CCD相機代替了傳統的顯微鏡及雙筒目鏡,控制器提供了圖像捕獲、測量以及對齊坐標的記錄等功能,可以實現預對準,這樣,用戶再通過操作手柄便能方便的進行對準操作。

 

 

 

 

 

 

 

UV-KUB 2 

 

 

 

UV-KUB 3

 

應用系統


微流控芯片

MEMS器件

 

 

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