KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列
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簡介
法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗,其研發的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統,結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理可達直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其zui小分辨率可達2μm,發散角小于2°
本系統適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
規格參數
項目 | UV-KUB 2 | UV-KUB 3 |
最小分辨率 | 2 μm | 2 μm |
光源波長 | 365 nm / 385 nm / 405 nm | 365 nm |
能量密度 | 25 mW / cm2 ± 10 % | 30 mW / cm2 ± 10 % |
熱效應升溫 | < 1°C | < 1°C |
曝光時間 | 1s~18 hours | 1s~18 hours |
存儲程序數量 | 10個 | 無限制 |
對準分辨率 | / | < 3 μm |
外形尺寸 | 260 x 260 x 260 mm3 | 480 x 480 x 480 mm3 |
重量 | 8.2 kg | 55 kg |
顯示屏 | 彩色觸摸屏5.7 inches | 彩色觸摸屏15.6 inches |
功能圖解
UV-KUB 2型光刻機,是國際市場上一款采用UV-LED光源系統的光刻機,其配備了基于LED光源的光學頭,使用壽命大大提高,結構小巧,性價比高,非常適合實驗室應用。
UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機,光源為365nm,其觸摸屏和CCD相機代替了傳統的顯微鏡及雙筒目鏡,控制器提供了圖像捕獲、測量以及對齊坐標的記錄等功能,可以實現預對準,這樣,用戶再通過操作手柄便能方便的進行對準操作。
UV-KUB 2
UV-KUB 3
應用系統
微流控芯片
MEMS器件