Dilase 250 一款桌面式精密激光直寫設(shè)備
Dilase 250是一款桌面式精密激光直寫設(shè)備，非常適用于快速打樣、光刻掩模版加工以及微加工應(yīng)用。Dilase 250采用KLOE公司研發(fā)的光路設(shè)計，具有較大的聚焦景深，該設(shè)計輔以自動控制的參考標(biāo)準(zhǔn)，使之在無需設(shè)置自動聚焦的情況下保證良好的直接精度和重復(fù)性。
我們專注于核心技術(shù)：
激光光源：
Dilase 250激光光源的波長可以配置為375nm或405nm，從而滿足市場上大多數(shù)的商業(yè)化光刻膠的直寫應(yīng)用。包括激光探頭在內(nèi)的Dilase250的整個光路系統(tǒng)都是固定的，這保證了設(shè)備在工作過程中的穩(wěn)定性和可靠性。
激光光斑聚焦系統(tǒng)
采用光學(xué)管技術(shù)，光源經(jīng)過濾波、均一、聚焦等處理，形成直寫光斑，實現(xiàn)高精度激光直寫。
樣品臺
樣品臺采用該精度位移臺，驅(qū)動樣品按照軟件設(shè)定的圖形進(jìn)行移動，在此過程中，激光頭保持在固定位置，實現(xiàn)大尺寸、高精度、無拼接圖形直寫。
技術(shù)特色：
1. 超大可視窗口
Dilase 250配備了一個超大可視窗口，可以直觀地觀測整個工作過程；同時，該窗口也方便操作人員完成上下料。
2. 高深寬比結(jié)構(gòu)加工
Dilase 250的聚焦光路設(shè)計使之可以輕松完成深寬比20：1的微結(jié)構(gòu)的加工，同時可定制滿足50：1深寬比結(jié)構(gòu)加工。
3. zui大直寫面積：100mm*100mm
設(shè)備配置的精密位移臺滿足100mm*100mm尺寸樣品的直寫，位移臺放置在大理石臺面上，并具備防震設(shè)計，保證設(shè)備的穩(wěn)定性。
4. 激光光源
采用高穩(wěn)定性固態(tài)激光器，波長375nm或405nm可選，工作壽命大于10000小時，無需預(yù)熱等待。
5. 友好的操作系統(tǒng)
硬件方面設(shè)備配置預(yù)裝直寫軟件的電腦一臺，設(shè)備上裝有主開關(guān)和急停開關(guān)，操作窗裝有安全傳感器，只有在操作窗口關(guān)閉情況下激光器才會開啟，保證操作人員的安全。
設(shè)備預(yù)裝了DilaseSoft直寫軟件，兼容LWO、GDS2、DXF格式文件。
6. 不同直寫模式實現(xiàn)高速和高精度兼得
Dilase250是市場上一款具備三種直寫模式的激光直寫設(shè)備，即掃描模式、矢量模式和掃描+矢量模式，實現(xiàn)高速和高精度兼得。
規(guī)格參數(shù)
性能參數(shù)
分辨率： 100nm
線性直寫速度：> 100mm.s-1
樣品臺位移精度：100nm standard 40nm optional
重復(fù)性誤差：100nm
多層對位精度： 1µm
定位精度：3µm / 100mm
直寫精度：100nm +/- 3µm
正交性：<1mRad
激光光源
波長： 375nm 或者 405nm
激光光斑： 1um-50um可選
樣品大小：From 3x3mm2 to 4" Up to 5" for square
zui大直寫面積：100mm * 100mm
樣品厚度：250um – 5mm
