ZTFT-3000型鐵電測試儀 ZTFT-3000型鐵電測試儀 ZTFT-3000型鐵電測試儀是新一代鐵電測試儀,采用集成電路設計,軟件豐富多元化設計,具備DHM動態電滯回線,C-V曲線,LM漏電曲線,FM疲勞曲線,PM脈沖測量,IM印跡,RM保持力,BDM擊穿保護,可擴展TSD熱釋電系數,TSDC熱刺激電流,DTS介電溫譜,ECM電卡效應,RT電阻測量,POM油浴極化。采用模塊化設計,即可獨立又可組合,是目前試驗室重要材料測量設備。 一、鐵電測試主機主要性能整套系統可以測試塊體材料在室溫到200℃,電壓±5kV電流2mA以內的鐵電、壓電性能。可以測試的鐵電性能包括:動態電滯回線、電滯IV曲線、疲勞曲線、漏電流曲線、C-V曲線、損耗曲線,變溫測試功能。 二、測試功能要求1. 電滯回線測試 測試電壓:0~±5kV(其中主機輸出0~100V,用于薄膜測試;接電壓放大器輸出0~±5kV,用于塊材測試); 測量頻率:0.1Hz~10kHz; 電荷測量解析度范圍: 0.80pC~5.26mC; 材料測量面積解析度范圍0.080μm2 ~50cm2; 在使用外部高壓電源時,測量電荷的解析度為526mC。 2. 記憶特性測試 電壓范圍:0~5V 五脈沖系列測試鐵電體記憶特性; 脈沖測試:0.5us~1s; 0V上升到5V的時間: 500ns; 5個脈沖的電壓,預設直流偏壓和偏置時間可以任意設定,最小脈沖寬度2.5MHz; 脈沖之間可以設定40000秒的延遲。 3. 漏電流測試 可進行漏電流-偏置電壓測試和漏電流-時間測試; 分辨率:1pA; 漏電流測試:0-12.5mA。 4. 疲勞測試 疲勞測量頻率:0- 100kHz; 脈沖寬度:0-0.5us; 可以通過外接任意波形產生器使疲勞測試頻率提升到1MHz以上。 三、10KV高壓測試模塊1. 配有用于塊體材料測試的±5KV高壓放大器,電壓±5KV,電流2mA,頻率400Hz,精度要求優于滿量程的0.3%; 2. 配有獨立的高壓保護回路裝置,高電壓下保證主機和測試頭免受破壞,同時起到測試主機與高壓放大器通信功能; 3、配有常溫高壓塊體測試夾具,耐壓0-5kV,具有良好絕緣性,可放置硅油。 四、塊材壓電測試模塊1.配有位移測試系統,配合鐵電測試主機要求達到測試解析度0.6nm; 2. 配壓電體材料樣品盒:室溫到200℃,耐壓范圍:0-10kV,帶有位移反射面; 3.配壓電測試軟件, 可進行測量程序設定和數據圖形存儲,得出壓電蝴蝶曲線。 五、數據采集分析軟件1. 能準確測量并繪制鐵電薄膜的電滯回線,定量得到鐵電薄膜材料的飽和極化Ps、剩余極化Pr、矯頑場Ec、漏電流等參數; 2. 可以進行鐵電薄膜材料的鐵電疲勞性能、記憶性能、鐵電保持性能的測試,電阻測量,漏電流測量與繪制。 |
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