DektakXT

在各個領域完成重要數據的采集處理

薄膜監測 — 高效率的保證

對于半導體制造行業而言，及時監測鍍膜膜厚和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應力， 能節省寶貴的時間和金錢。不均勻的膜層或過大的應力，將導致差的優良率和不合格

的終端產品性能。 DektakXT 易于設定、測量快捷，通過不同位置的多點自動測量可確 認整片硅表面上薄膜的準確厚度，其精度可達納米級別。 DektakXT 的測量重復性 為工程師們提供準確的薄膜厚度和應力測量，使其可以精確調節刻蝕和鍍膜工藝來提  高產品的優良率。

混合電路的 DektakXT 3D 圖像

DektakXT 可以可靠測量厚度小于 10nm 的薄膜

測量表面粗糙度 — 確保材料質量

在自動化，航空航天， 醫藥領域等各行各業，如果需要精確測量材料表面的粗糙度， DektakXT 是一個非常理想的檢測儀器。比如在整形手術中需要植入的假體，在其背面   涂覆的羥基磷灰石，它的表面粗糙度會影響假體植入到體內后的黏附性和手術效果。使 用 DektakXT 快速檢測材料表面的粗糙度， 可以獲悉晶體材料的生長是否符合工程師的  要求，或者手術所需的植入體是否通過醫學審核允許使用。使用 Vision64 軟件中的數   據庫功能，設定合格/淘汰條件，品管人員可以輕松確定植入體是否需要再加工還是定  為合格品。

人造膝關節背面羥基磷灰石涂層的表面粗糙度的 2D 掃描

太陽能電池柵線分析—— 降低生產成本

在太陽能領域，Dektak 已被作為測量單晶和多晶硅電池上主柵、 銀線特征尺寸的首  選設備。 柵線的高度、寬度和連續性都直接影響了太陽能電池的能量傳輸能力。生產   過程中的方案是節約貴金屬銀的使用量，同時又保證銀漿的量足夠覆蓋在電池板上， 完成的電導特性。 DektakXT 可使用線條分析功能為用戶提供柵線的特征尺寸，以   確保足夠的銀漿覆蓋，導電良好。 Vision64 的數據分析方法和自動操作功能使這一檢驗   核實的過程可以通過特定設置后自動完成。

太陽能電池柵線的 DektakXT 3D 圖

DektakXT 追蹤分析的特性可以自動提供導線的寬度，高度，面積和高 寬比，從而獲得太陽能電池的光電轉化效率。

微流體- 確保符合設計和質量要求

Dektak 是市場上可以測量敏感材質上高達 1mm 垂直臺階的臺階儀，而且測量重復 性在埃米級別。 DektakXT 為微機電系統和微流體工業的研究者提供了關鍵尺寸測量的可靠 手段，以確保器件符合規格要求。超微力測量， Nlite+，可以保證在測量敏感材質時輕觸

其表面而不破壞樣品表面，得到臺階高度或表面粗糙度數據。