INFICON CDG100D SKY電容膜片真空計

INFICON SKY CDG100D真空計是高精度總壓強測量和控制的。為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好，從大氣壓恢復快，預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應用中。

*性：

1、  低CoO（擁有成本），50%快速預熱，能效高，功耗低

2、  易整合于系統中，寬量程范圍，法蘭和接口，標準型號帶有兩個設點

3、  簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令，零點偏離可調

4、  診斷端口用于快速檢修和維護

5、  兩年保用期，采用的加熱概念和規管保護，真空計使用壽命長

6、  由于的訊號穩定性和可重復性，即使在嚴酷的等離子應用條件下仍可長期使用，無需重新校準

7、  符合標準：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1、  刻蝕，PVD,CVD和其它半導體生產過程

2、  化學和腐蝕性高溫過程

3、  需要真空計保護的常用薄膜和真空過程