半導體功率器件CV特性結電容分析測試儀
一、設備簡述：
天士立科技ST-CVX半導體功率器件CV特性結電容分析測試儀是陜西天士立科技有限公司根據當前半導體功率器件發展趨勢，針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無需頻繁切換接線及設置參數，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產線快速測試、自動化集成。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發及分析。
儀器設計頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數功率器件測試。
二、應用領域：
l 半導體功率器件：二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
l 半導體材料：晶圓切割、C-V特性分析
l 液晶材料
l 彈性常數分析
l 電容元件：電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析
三、性能特點：
l 一體化設計：LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件
l 單管器件、模組器件、曲線掃描)三種測試方式一體
l 四寄生參數(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)
l 同屏一鍵測量及顯示
l CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描
四、功能指標：
l Vds：0~1200V
l Vgs：±25V
l Rg ：0~10KΩ
l 信號電壓：1mV~1000mV
l 測試精度：0.01pf
l 測試頻率：0.01KHZ~1MHZ
l 主要功能：IGBT，二極管，氮化鎵、碳化硅 MOSFET等功率器件Rg\Ciss\Coss\Crss參數和CV特性測試分析
五、軟件操作
上位機使用Labview界面開發，該程序體現為人機交互界面，作為測試平臺的交互系統，通過與LCR表、主控板等設備通訊，實現對設備的自動操作并進行數據采集、在界面上顯示LCR表的測試波形、并對測試波形進行分析、計算，最終得到結果進行顯示和存儲。
? 進入主界面，主界面分為參數錄入區、波形顯示區和參數顯示區，如下圖所示：
六、系統主要部件：
七、驗收流程
1. 在需方工作現場完成設備安裝；
2. 安裝完成后, 雙方依據技術協議對設備進行驗收進行驗收。
3. 驗收完成后, 雙方簽署《驗收報告》，作為合同執行依據。
八、技術培訓
供方在需方工作現場免費為需方進行測試技術培訓。培訓內容包括：
1. 系統介紹；
2. 軟件使用方法；
3. 硬件使用方法；
4. 器件測試技術；
5. 測試實際操作；
6. 系統使用注意事項；
7. 日常維護與保養
九、售后服務
1、全部供貨范圍內的設備、材料、零配件和工器具等，除合同特別約定外，其質保期均自終驗收簽字生效之日起 12 個月。
2、若買方需賣方派工程師來現場解決設備問題，我方應在 3 小時內響應，2 個工作日內派人員抵達買方現場，因我方造成的設備停工時間應在質量保證期中予以相應延長。
3、質保期之內，系統及設備發生任何非人為原因造成的故障和損壞，均由我方負責免費維修和服務，失效零件予以免費更換，所更換的部件三包期從更換之日起重新計算。
4、質保期終止之日起一年內重復出現的質保期之內出現的故障，仍在質保范圍而且免費維修。
5、對于備件及易損件的報價，三年內不得提升，確保設備驗收后五年內所需的配件國內能夠實現現貨供應。
6、對于質量保證期后可能涉及的大修改造情況，我司承諾以不高于國內其他用戶的供貨價格為原則，根據新增功能的難易程度和全新設備的整體價格來綜合報價。
7、我方派往買方使用現場的人員，具有 5 年以上的專用素質；現場解決問題時，不得無故拖延或推遲，應為買方提供服務。
8、產品終生免費技術支持，包括硬件維修，軟件升級等。硬件維修只收取 相應的器件 成本費用，軟件實行終生免費升級。
9、六個月定期產品巡檢，對產品硬件及軟件升級等。
10、不定期對使用設備人員走訪或者電話培訓服務。
