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內容
主機儀器架# 一體式人體工學機臺# 直線導軌驅動器# 電動立柱# 數字傳感器# 水平調整系統：外觀尺寸：250*180*40mm、調整范圍：15mm# 回轉及角度調試系統：360度旋轉、±25角度傾斜# 平口裝夾系統 Fixture：鉗口寬：50mm、鉗口深25mm# Φ3*21mm R0.025mm 單切面測針# Φ1*10mm R2μm 粗糙度測針# Φ8*150mm 測桿# 電器控制系統# 品牌電腦# HP噴墨打印機# 測量軟件# 使用說明書# 產品保修卡# 產品裝箱單# 合格證# 設備驗收單# 工具箱
項目 | 參數 | |
測量范圍 | X軸驅動器 | 100mm |
Z1（傳感器） 粗糙度和輪廓共用 | 40mm | |
立柱高度 | 450mm | |
測量精度 | X軸 （L=X軸移動導軌距離） | ±(0.8+0.002L)μm |
Z1軸 （H=Z1軸方向測量高度） | ±(0.6+0.005H)μm | |
殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
示值誤差 | ±5% | |
示值穩定性 | ≤±7% | |
重復性 | 1δ≤2nm | |
角度 | ≤±1′ | |
圓弧 （R=標準圓弧值） | ≤±(1.0+R/12)μm | |
X軸 | 直線度 | 0.6μm /100mm |
分辨率 | 0.05μm | |
產地 | 美國MicroE | |
傳感器 | 類型 | 光柵傳感器 |
分辨率 | 0.01μm | |
產地 | 美國MicroE | |
評定長度 | λc×3、4、5、6、7 | |
截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
爬坡角度 | 上升77°， 下降88° | |
測量速度 | 0.02mm至4.0mm/s | |
測量方式 | 傳感器移動 | |
