Gemini™ 大氣壓至超高真空真空計(jì)
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空計(jì)是所有真空測(cè)量應(yīng)用(申請(qǐng)中)的動(dòng)力源泉。Gemini將兩個(gè)傳感器系統(tǒng)整合在一個(gè)小裝置中,測(cè)量范圍從大氣壓至 1x10 – 9 毫巴。獲得的超低雜散磁場(chǎng)設(shè)計(jì)為全新的應(yīng)用領(lǐng)域開啟了大門。的可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護(hù),這使使Gemini成為同類產(chǎn)品中Z堅(jiān)穩(wěn)和經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)。
Gemini冷陰極和組合真空計(jì)配備了集成的數(shù)字電子設(shè)備,使系統(tǒng)集成具有很強(qiáng)的靈活性。冷陰極和皮拉尼組合選項(xiàng)提供了跨越多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的無縫轉(zhuǎn)換、可靠性、實(shí)用性和靈活性。
益處
在惡劣環(huán)境下,使用壽命長(zhǎng)
低雜散磁場(chǎng)
零維護(hù)- 可換插頭
超緊湊尺寸
可靠的快速點(diǎn)火
抗腐蝕饋入裝置
可選測(cè)量電流
典型應(yīng)用
基本壓力監(jiān)視和控制,在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中從大氣壓到高真空。
一般真空測(cè)量 – 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、冰箱和空調(diào)。
分析和研發(fā)應(yīng)用 – 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、醫(yī)療、眼科、光學(xué)和高能物理。
新聞
新一代冷陰極/冷陰極-皮拉尼組合真空計(jì)現(xiàn)在開放訂購!
規(guī)格
類型 | MAG50x | MPG50x | |
---|---|---|---|
測(cè)量系統(tǒng) | Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) | Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) | |
測(cè)量范圍(空氣、氮?dú)猓?/td> | 1×10-9 … 1×10-2 | 1×10-9 … 1000 | |
準(zhǔn)確度 (N2) | |||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 | 30 |
1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | - | 30 |
100 … 1000 毫巴 | % of reading | - | 50 |
可重復(fù)性 (N2) | |||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 5 | - |
1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | - | 5 |
安裝定位 | any | any | |
容許壓力 | bar (absolute) | 10 (limited to inert gases <50°C) | 10 (limited to inert gases <50°C) |
容許溫度 | |||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | +5 ... +55 | +5 ... +55 |
法蘭烘烤 (1) | °C | <150 | <150 |
儲(chǔ)存 | °C | -40 ... +70 | -40 ... +70 |
燈絲溫度 | °C | - | 120 |
一年 30 天的相對(duì)濕度 | |||
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 | % | <95 (non-condensing) | <95 (non-condensing) |
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % | <70 (non-condensing) | <70 (non-condensing) |
供電電壓 | |||
在量規(guī) (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 | +14.5 ... +30 |
波紋 | V (p-p) | <1 | <1 |
功耗 | W | <2 | <2 |
待連接的保險(xiǎn)絲 | AT | <1 | <1 |
電壓范圍 | |||
模擬輸出 | V | 0 ... +10.5 | 0 ... +10.5 |
測(cè)量范圍 | |||
3MAx-00x-0x0N | V | +1.5 ... +8.5 | - |
3MBx-00x-0x0P | V | - | +1.398 ... +8.598 |
3MAx-00x-0x0Q | V | +0.667 ... +10 | - |
電壓比壓力 | |||
3MAx-00x-0x0N | volts per decade | 1 (logarithmic) | - |
3MBx-00x-0x0P | volts per decade | - | 0.6 (logarithmic) |
3MAx-00x-0x0Q | volts per decade | 1.33 (logaritmic) | - |
錯(cuò)誤信號(hào) | |||
錯(cuò)誤信號(hào) | V | <+0.5 | 09.5 ... +10.5 |
輸出阻抗 | ? | 2x10 | 2x10 |
負(fù)載阻抗 | k? | >10 (short circuit-proof) | >10 (short circuit-proof) |
階躍響應(yīng)時(shí)間 | |||
p > 10-6 毫巴 | ms | <100 | <100 |
p = 10-8 毫巴 | s | ~1 | |
量規(guī)標(biāo)識(shí) | k? | 100 | 85 |
狀態(tài)(針 6) | |||
僅皮拉尼模式 | V | - | 0 (low) |
冷陰極點(diǎn)燃 | V | +15 ... +30 | - |
組合皮拉尼/冷陰極模式 3) | V | - | +15 ... +30 (high) |
電氣連接 | |||
3Mxx-00x-000x | FCC68, 8-pin, female | FCC68, 8-pin, female | |
3Mxx-00x-010x | D-sub, 9-pin, male | D-sub, 9-pin, male | |
傳感器電纜 | |||
3Mxx-00x-000x | 8-pin, shielded | 8-pin, shielded | |
電纜長(zhǎng)度 | |||
50 米電纜 | m | < 50 (8x0.14 mm2) | < 50 (8x0.14 mm2) |
75 米電纜 | m | < 75 (8x0.25 mm2) | < 75 (8x0.25 mm2) |
100 米電纜 | m | < 100 (8x0.34 mm2) | < 100 (8x0.34 mm2) |
300 米電纜 | m | < 300 (8x1.00 mm2) | < 300 (8x1.00 mm2) |
工作電壓 | kV | <3.3 | <3.3 |
工作電流高 | µA | <500 | <500 |
工作電流低 | µA | <100 | <100 |
曝露在真空的材料 | |||
3Mx0-00x-0x0x | Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels | W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels | |
3Mx3-00x-0x0x | Ni alloy, AI2O3, stainless steels | Ni alloy, AI2O3, stainless steels | |
內(nèi)部容量 | cm3 | 22.8 | 22.8 |
重量 | |||
DN 25 ISO-KF | g | <280 | <280 |
DN 40 ISO-KF | g | <320 | <320 |
DN 40 CF-F & CF-R | g | <570 | <570 |
防護(hù)等級(jí) | IP 40 | IP 40 | |
標(biāo)準(zhǔn) | |||
符合CE | EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS | EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS | |
維護(hù) | none | none |
1) 沒有電子設(shè)備。
2)供電裝置的Z小電壓必須根據(jù)傳感器電纜的長(zhǎng)度成比例增加。
3) 冷陰極點(diǎn)火。
零件號(hào)
附件
MAG50x | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
211-098 | 細(xì)目過濾中心環(huán)組件DN 25 ISO-KF |
351-550 | MxG50x 點(diǎn)火單元 |
MPG50x | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
211-098 | 細(xì)目過濾中心環(huán)組件DN 25 ISO-KF |
351-550 | MxG50x 點(diǎn)火單元 |
備件
MAG50x | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-500 | MAG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-501 | MAG504 spare sensor, 25KF, SS |
351-512 | MAG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-513 | MAG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-524 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-525 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-536 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-537 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-995 | 起輝器 |
351-555 | Spare ion chamber ss |
MPG50x | |
零件號(hào) | 明細(xì) |
351-506 | MPG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-507 | MPG504 spare sensor, 25KF, SS |
351-518 | MPG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-519 | MPG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-530 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-531 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-542 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-543 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-995 | 起輝器 |
351-555 | Spare ion chamber ss |