QMG 700 分析質譜儀
QMG 700的一些變體將于2018年1月31日停止使用
質量范圍1024 amu和2048 amu 質量范圍16 amu和340 amu 離子光學系統 QMG 725系統 超越檢測極限且達到優異的穩定性和細微的分辨率 半導體制造技術的快速發展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質譜儀以突破檢測極限，推動工藝創新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優勢，獲得出眾的測量能力。 根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數量級的動態測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質量范圍都有很高的分辨率，對較低的質量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。 INFICON 在分析質譜儀領域五十多年的歷史和的技術，確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數據。
功能
質量范圍選擇為 1-2048 amu
超過九個數量級的動態量程
極快的測量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個質量范圍的高分辨率：質量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內清晰地分離
超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
離散或連續倍增電極電子倍增器選件
用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數前置放大器
IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數字輸入/輸出
軟件功能強大，靈活實用且具友好的用戶界面
典型應用
Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry
規格
| 類型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
|---|---|---|---|---|
| 質量范圍 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
| 傳感器長度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
| 桿直徑 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 桿材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
| 法蘭 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
| 檢測器類型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
| Z大工作壓力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
| Z大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
| 靈敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
| Z小可檢測分壓 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
| 分辨率（可調） | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
| 分壓比 | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | < 0.5 ppb | |
| Z高工作溫度 傳感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
| Z高烘烤溫度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
| Z高工作溫度 電子單元 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
| 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
| 電源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | |
(1) QMA 400 的可檢測質量范圍為：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的規格基于 512 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置
(2) QMA 410 的可檢測質量范圍： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的規格基于 128 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置
零件號
| QMA 400 | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 490-709 | |
| 490-710 | QMA 400 with axial Ionenq. |
| 490-711 | QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB |
| 490-712 | QMA 400 mit CB-IQ, MAG |
| 490-713 | QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT |
| 490-721 | QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd. |
| 490-722 | QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol. |
| 490-755 | |
| 490-756 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 |
| 490-756-2 | QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly |
| 490-769 | QMA 400, SEM 217, crossbeam, Yt, 2LO |
| 490-770 | QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial |
| 490-772 | QMA 400 with Axial Ionenq, W |
| BKM07627 | |
| PTM07736 | QMA 400 mit Crossb.-Ionenq. |
| QMA 410 | |
| 零件號 | 明細 |
| 490-811 | QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet |
| 490-813 | QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet |
| 490-816 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB |
| QMA 430 | |
| 零件號 | 明細 |
| 490-911 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB |
| 490-911/S | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB |
| 490-912 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT |
| 490-921 | QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA) |
