產品介紹INTRODUCTION
- PSM是一臺差式泵質譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。
- 差式泵歧管,通過法蘭與過程反應室連接
- 電子附著選件,具有可調諧的離子源,用于表觀電勢MS
- Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
- 信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布VS時間
- 標準分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 離子分析可選
- 靈敏度高 / 極穩定的3級過濾四極桿
- 質量數范圍:0 ~ 2500amu
- 脈沖離子計數檢測器,7個數量級的動態范圍
- 能量分析選件,標準 ±100eV(1000eV可選 )
- Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
- 通過RS232、RS485或Ethernet LAN ,軟件MASsoft 控制