GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過(guò)CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)。本機(jī)是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。
技術(shù)參數(shù)
| 電源電壓 | 220V , 50/60 Hz |
| 輸出功率 | - < 2000W (including pump)
- 離子電流表：電流：50mA 定時(shí)器：最長(zhǎng)時(shí)間900s
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| 輸出電壓(DC) | 1600V |
| 樣品室 | 石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height |
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樣品載物臺(tái) | - 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
- 濺射面積: 45 mm
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| 配件
| - 120 L/m的雙旋片式機(jī)械真空泵，進(jìn)行抽真空
- 進(jìn)氣口處安裝有儲(chǔ)氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過(guò)濾器，可以過(guò)濾真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，和保護(hù)環(huán)境，和人體健康
- 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
- 高純度金箔靶
- 系統(tǒng)需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶，但我們不提供
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| 可通入氣體 | - 多種 氣壓：-1600（-3000）DCV
- 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管
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靶材 | 標(biāo)配靶材: - Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
- Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
- Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs
可選靶材 - Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
- Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
- Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea
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| 設(shè)備特點(diǎn) | - 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
- 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
- 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
- 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
- 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
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| 外形尺寸 | 400mm × 300mm × 400mm（L×W×H） |
| 凈重 | 50 kg |
| 質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
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