產品描述
該設備采用的濺射方式,鍍膜均勻、干凈。樣品溫度受控,貴金屬靶材利用率高。四靶均配有擋板,并配有驅動裝置可手動打開。
樣品架采用行星輪結構,可實現樣品的定點自轉和公轉同時進行。樣品可進行射頻反濺,也可加偏壓。
技術參數
1.腔室尺寸:Φ(600-800)×450(根據實際情況調整);
2.空載極限真空:3×10-4Pa
3.工作本底真空:8×10-5Pa;
4.樣品架一次可承載3-40塊80×13×0.5的樣品;
5.濺射靶:采用長方形靶;
6.薄膜均勻性:±10%。
蘇州中科科美科技有限公司(簡稱蘇州科美),是北京中科科美科技股份有限公司全資子公司,系所屬企業,傳承科學儀器研制中心60多年的真空裝備制造經驗,是一家集設備研發、設計、制造、銷售服務于一體的。
為響應中科科儀集團投資建設蘇州儀器裝備產業園、推進中科院裝備關鍵核心研制技術開發、加速科學儀器裝備與核心零部件創新成果產業化的戰略部署,蘇州科美落戶蘇州科技城,重點發展以檢漏技術為核心的檢漏工程業務,實現規模化發展。充分發揮本地化優勢,開發華東、華中、華南真空應用市場,加速推進真空裝備產業化進程。
蘇州中科科美致力于為用戶提供量身定制真空系統解決方案及技術咨詢服務,產品包含真空氦檢漏系統、超高真空排氣臺、空間模擬設備、真空存儲柜、真空爐、真空充油機等各類非標定制設備。產品廣泛應用于汽車制造、電力系統、半導體、科研系統等眾多領域。
公司以客戶為中心,建立了完善的質量體系,全面實施精益化管理,以優秀的產品和服務,為客戶創造價值。科美公司致力于發展成為國內、具有國際競爭力的真空系統集成整體解決方案供應商,實現與客戶的共同成長!
產品描述
該設備采用的濺射方式,鍍膜均勻、干凈。樣品溫度受控,貴金屬靶材利用率高。四靶均配有擋板,并配有驅動裝置可手動打開。
樣品架采用行星輪結構,可實現樣品的定點自轉和公轉同時進行。樣品可進行射頻反濺,也可加偏壓。
技術參數
1.腔室尺寸:Φ(600-800)×450(根據實際情況調整);
2.空載極限真空:3×10-4Pa
3.工作本底真空:8×10-5Pa;
4.樣品架一次可承載3-40塊80×13×0.5的樣品;
5.濺射靶:采用長方形靶;
6.薄膜均勻性:±10%。
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