● 全數字控制,匹配精度高,匹配時間短
● 采用真空電容,可靠性高,使用壽命長
● 結構緊湊,體積小,安裝便捷
● 超寬匹配范圍,可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預置設定功能
● 具有通訊功能,可獨立連接上位機實時顯示負載狀態
● 可定制化輸出接口
技術指標 | 控制電壓:AC220V±10% |
傳輸功率:0.5~5kW | |
頻率:2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
匹配時間:端對端<5s,預設點到匹配點<0.5~3s | |
駐波:<1.2 | |
阻抗實部:5~200Ω | |
阻抗虛部:+200~-200j | |
射頻輸出電壓:4000Vpeak | |
射頻輸出電流:25~40Arms | |
輸入接口:N型 | |
輸出接口:銅排或L29 | |
注:產品不斷創新,性能繼續提升,本參數說明僅供參考。 |