● 全數(shù)字控制,匹配精度高,匹配時(shí)間短
● 采用真空電容,可靠性高,使用壽命長(zhǎng)
● 結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,安裝便捷
● 超寬匹配范圍,可定制適配任意負(fù)載
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)匹配功能
● 具有保持和預(yù)置設(shè)定功能
● 具有通訊功能,可獨(dú)立連接上位機(jī)實(shí)時(shí)顯示負(fù)載狀態(tài)
● 可定制化輸出接口
技術(shù)指標(biāo) | 控制電壓:AC220V±10% |
傳輸功率:0.5~5kW | |
頻率:2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
匹配時(shí)間:端對(duì)端<5s,預(yù)設(shè)點(diǎn)到匹配點(diǎn)<0.5~3s | |
駐波:<1.2 | |
阻抗實(shí)部:5~200Ω | |
阻抗虛部:+200~-200j | |
射頻輸出電壓:4000Vpeak | |
射頻輸出電流:25~40Arms | |
輸入接口:N型 | |
輸出接口:銅排或L29 | |
注:產(chǎn)品不斷創(chuàng)新,性能繼續(xù)提升,本參數(shù)說(shuō)明僅供參考。 |