MPG400.pdf
INFICON MPG400/401反磁控皮拉尼真空計INFICON (大氣壓至超高真空)
冷陰極和皮拉尼復合真空規
INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規MPG400和MPG401, 測量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性
MPG400的優點:
復合真空規 – 冷陰極與皮拉尼
寬的壓強測量范圍從5x10-9 毫巴至大氣壓
無可燒毀的燈絲
的引燃功能
易清洗
FPM 或金屬密封的饋入件
高壓加上時LED 指示燈亮
對數模擬輸出訊號
MPG400的應用:
高真空壓強監測
蒸發和濺射系統的壓強測量
一般真空測量和控制,從中至高真空范圍