低溫真空探針臺(tái)產(chǎn)品介紹
低溫真空探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動(dòng)器件,找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn),從而使其訊號(hào)線(xiàn)與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
產(chǎn)品參數(shù)
腔體
樣品臺(tái)尺寸:CGO-2/CGO-4
觀察窗口:2英寸/4英寸
制冷方式:液氮 、液氦/制冷機(jī)
控制方式:開(kāi)循環(huán)手動(dòng)/閉循環(huán)自動(dòng)控制
溫度范圍:77K~450K、4.5K~450K/4.5K~450K
樣品固定:彈簧壓片
其他接口:電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
顯微鏡
X-Y-Z移動(dòng)行程:50mmx25mmx13mm
接頭類(lèi)型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線(xiàn)端子/射頻接口
探針
材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
真空組件:分子泵組/機(jī)械泵
冷源組件:50L/100L液氮罐/液氨罐/制冷機(jī)
外形重量:730mmx750mmx1265mm(長(zhǎng)寬高) 約100kg
防震桌參數(shù)
防震桌類(lèi)型:氣浮隔振防震桌/阻尼隔振防震桌
隔振方式:空氣彈簧隔振/高級(jí)復(fù)合材料隔振
材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm/m2
粗糙度:<0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺(tái)尺寸(長(zhǎng)寬):可定制
平臺(tái)厚度:50 / 100 / 200mm
固有頻率:1.5Hz - 2Hz/6Hz - 8Hz
支撐腿:氣浮支撐腿/阻尼支撐腿
支撐腿數(shù)量個(gè):4個(gè)/6個(gè)
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制