高純度BA/EP級半導體真空球閥參數
操作方式 ：1/4 Turn pneumatic open and close
壓力范圍： 2 bar ~ 1x10-4 mbar
泄漏率: 9x10-7 mbar.l/sec
材質：316 S.S , PTFE
壓力：<=2 bar
溫度 ：<=Cylindr 80°C/Body 100°C
空氣壓縮連接頭 : 2x1/4"NPT
氣體壓力 : 4-7 kg/cm2
奇高主要服務于半導體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統、科研機構等高科技領域。奇高閥門專注于真空閥門領域，因其研發創新和業界聞名的好品質，很多半導體芯片設備以及太陽能設備制造廠商都在其機臺設備中大量采用了奇高公司的產品。
