INFICON Pirani 標準真空計 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用當今市場上的數字 Pirani 技術，不銹鋼傳感器單元堅固耐用，結構設計緊湊，適用于半導體系統和標準應用，例如前級真空管。

好處

√ 輕松一鍵調節 ATM 和 HV

√ 節省空間的堅固設計

√ 鋁質殼體

√ 可安裝在任何方向

√ 不銹鋼測量單元，帶金屬密封饋入裝置

√ 對數信號輸出，易于集成

√ 螺紋接頭，具有 10 bar 過壓能力

√ 250°C 可烘烤裝置

√ 鎳絲選件，適用于腐蝕性應用

√ 陶瓷饋入裝置，適用于腐蝕性的應用（PSG510 和 PSG512)

√ 可選設定點

√ 符合 RoHS 標準

典型應用

√ 高真空電離真空計控制

√ 前級真空壓力監控

√ 真空系統中的安全電路

√ 高真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制

PSG5xx 大氣壓至中真空真空計 ZH.pdf