產品簡介： 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、 石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
主要特點：
高性能價格比、普通型產品
橡膠密封、模擬電路的MFC
7A型的更新換代型
管狀分流，使用壽命長
| 滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM | |
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |
| 閥類型（及閥初始狀態） | 電磁調節閥（常閉） | |
| 準確度 | ±1.5％F.S. | |
| 線性 | ±0.5～1.5％F.S. | |
| 重復精度 | ±0.2％F.S. | |
| 響應時間 | 電特性: 10 sec 氣特性: ≤ 4 sec | |
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ | |
| 工作壓差 | 0.1～0.5MPa | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |
| 靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） | |
| 動密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4” |
| 雙卡套 | 1/8”、1/4”或φ6、φ3 | |
| 重量 | 1.1kg | |
