產品描述
日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐簡介：
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
1.工作溫度360℃和500℃。
2.采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
3.高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
4.磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
5.可實現快速升溫和降溫，升降溫速率可調節。
6.標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
安全性
1.門檢測開關
2.溫度過升防止器
3.氧濃度異常安全裝置
4.氮氣壓力檢測
5.氮氣流量檢測
6.冷卻水流量檢測
7.漏水傳感器
8.過電流漏電漏電保護開關
技術參數
日本雅馬拓DTN430C/DTN630C/DTN450C/DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術參數：
| 型號 | DTN430C | DTN630C | DTN450C | DTN650C | |||
| 方式 | 氮氣置換 +強制送風循環 | ||||||
| 性能 | 使用溫度范圍 | 室溫+50～360℃ | 室溫+50～500℃ | ||||
| 溫度調節精度 | ±0.5℃（at360℃） | ±1.0℃（at500℃） | |||||
| 溫度分布精度 | ±5.0℃（at360℃） | ±8.0℃（at500℃） | |||||
| 溫度到達時間 | 約80分 | 約 110分 | |||||
| 氧濃度 | 20ppm以下 | ||||||
| 氧濃度到達時間 | ≤20分（250L/min氮氣） | ≤25分（250L/min氮氣 | ）≤ 20 分（250L/min氮氣） | ≤25分（250L/min氮氣） | |||
| 潔凈度 | 溫度恒定時 100級 | ||||||
| 構成 | 內裝 | 不銹鋼板 | |||||
| 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | ||||||
| 斷熱材 | 硅酸鋁棉 | ||||||
| 加熱方式 | 不銹鋼加熱管 | 合金加熱絲 | |||||
| 加熱功率 | 主加熱器 | 6.75KW | 9KW | 9.5KW | 14.2KW | ||
| N2預熱 | 1KW | ||||||
| 冷卻機構 | 不銹鋼冷卻水換熱器 | ||||||
| HEPA過濾器 | 集塵效率：0.3um 粒子 99.97%以上 | ||||||
| 控制器 | 溫度控制方式 | PID控制 | |||||
| 溫度控制器 | 液晶觸摸屏+PLC | ||||||
| 運行功能 | 手動定值運行、自動程序運行 | ||||||
| 程序模式 | 程序運行 9 個，每個程序可設置 9步（可擴展） | ||||||
| 附加功能 | 操作員等級認證 | ||||||
| 加熱器回路控制 | SSR驅動 | ||||||
| 傳感器 | K型熱電偶（溫度控制及過升防止器） | ||||||
| 安全裝置 | 門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2流量檢測、 風機過載檢測、過電流漏電保護開關等 | ||||||
| 規格 | 內尺寸（寬×深×高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 | 450×450×450 | 660×500×660 | ||
| 外形尺寸（寬×深×高mm） | 1090×950×1540 | 1300×1000×1750 | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 | |||
| 內容積 | 91L | 216L | 91L | 216L | |||
| 棚板層數 /層間距 | 12 層/30mm | 19 層/30mm | 12 層/30mm | 19 層/30mm | |||
| 排氣口 | 40KF法蘭 | ||||||
| 氮氣入口 | Rc1/2 | ||||||
| 冷卻水入口 | Rc3/4 | ||||||
| 熱水出口 | Rc3/4，2個 | ||||||
| 電源（50/60Hz）額定電流 | 3相AC380V 16A | 3相AC380V 19A | 3相AC380V 20A | 3相AC380V 27A | |||
| 重量 | 約900kg | 約1100kg | 約900kg | 約1100kg | |||
| 選購品 | 棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機 / 運行 /故障）、以太網通信功能 | ||||||
