1：1紫外制版鏡頭 |
光刻物鏡是微電子生產(chǎn)投影式光刻機(jī)的核心部件，隨著微電子生產(chǎn)工藝不斷向微細(xì)化、集成化發(fā)展，對(duì)光刻鏡頭的要求越來(lái)越高。要求具有衍射極限的成像質(zhì)量、高分辨力、大視場(chǎng)、小畸變，其性能直接決定了光刻機(jī)的圖形傳遞能力。制造光刻鏡頭除了設(shè)計(jì)出一個(gè)成像完善的光學(xué)系統(tǒng)和精選優(yōu)質(zhì)的光學(xué)玻璃外，關(guān)鍵在于光學(xué)加工、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)裝配以及相關(guān)的測(cè)試技術(shù)等。
基本參數(shù) |
物方視場(chǎng): 21mm X 11 mm；
放大倍率: 1X (可微調(diào) 0.1%),調(diào)整后鎖緊；
像方尺寸: 21mm X 11 mm；
物方數(shù)值孔徑: 0.25；
物像光路類型：物、像遠(yuǎn)心光路；
物方工作距離: > 75 mm；
設(shè)計(jì)波長(zhǎng)范圍: 350~ 415 nm；
透過(guò)率: > 85% @ 350nm ~ 420nm；
像質(zhì)要求 |
所有視場(chǎng)內(nèi)MTF: > 0.3 @ 600 lp/mm；
像方畸變: 0.005%；
要求物,像遠(yuǎn)心光路: 主光線傾角<0.1 度；
放大倍率誤差: 0.03%；
其它參數(shù) |
外徑: < 63 mm；
透鏡長(zhǎng)度: < 120 mm；
兩端螺紋為: M51X0.75 長(zhǎng)度10mm；M49X0.75 長(zhǎng)度11mm；
鍍?cè)鐾改げㄩL(zhǎng)范圍: 350nm ~ 450nm；
物像共軛距: < 320 mm；
