1.9：1多波段紫外制版鏡頭 |
多波段紫外制版鏡頭是微電子生產(chǎn)投影式光刻機的核心部件，隨著微電子生產(chǎn)工藝不斷向微細化、集成化發(fā)展，對光刻鏡頭的要求越來越高。要求具有衍射極限的成像質(zhì)量、高分辨力、大視場、小畸變，其性能直接決定了光刻機的圖形傳遞能力。制造光刻鏡頭除了設(shè)計出一個成像完善的光學系統(tǒng)和精選優(yōu)質(zhì)的光學玻璃外，關(guān)鍵在于光學加工、結(jié)構(gòu)設(shè)計裝配以及相關(guān)的測試技術(shù)等。
基本參數(shù) |
物方視場：22mm X 12mm （25.0mm diameter）；
放大倍率：1. 9倍（土 0. 05%）；
像方尺寸：41.8 mm X 22.8 mm（47.5mm diameter）；
物方數(shù)值孔徑：0. 12 Na；
物像光路類型：物、像遠心光路；
物方工作距離：73.66 mm土0.5mm （從鏡頭小端機械端面到物面）；
像方工作距離：＞150. 0mm 士1. 0mm（在像方加3mm保護玻璃后機械端面到像面）；
設(shè)計波長范圍：350 nm ~ 410 nm；
透過率：>73%@355nm、>77%@375nm、>85%@405nm；
對比度（DMD成像）：1）亮場／暗場＞ 5000；
2）對比度=（P亮 - P暗）/P亮×99%）＞99.5%；
鏡頭固定可靠性：鏡頭按照現(xiàn)有固定方式安裝后，用 M6 的六角匙敲引擎的任意位置，在停止敲擊時像的位置能恢復原位，位置變化≤5um；
像質(zhì)要求 |
像面所有視場內(nèi) MTF：＞0. 3 @100lp/mm；
畸變：＜0.02%（4um）@ 1.9 Field；
物、像遠心光路：主光線傾角＜0.5度；
焦深：士250µm；
場曲：偏差<60µm；
補充說明 |
1．外徑：< 100 mm，兩端用細牙螺紋；
2．鏡頭出光端加保護鏡片，保護鏡片易更換；
3．鏡頭長度：<206mm；
4．物像共軛距：430.0土1mm；
5．在40W紫外激光（405nm+355nm）照射300小時以上衰減＜3%；
6．內(nèi)表面做消光處理，且在長時間紫外照射下不揮發(fā)變色，雜光≤0.2%，黑白棋盤格比＜0.4%，沒有耀斑；
尺寸圖 |
