德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器赫爾納供應
德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器赫爾納供應,由赫爾納德國總部直接采購,近30年進口工業品經驗,原裝產品,支持選型,為您提供一對一好的解決方案:貨期穩定,快速報價,價格優,設有8大辦事處提供相關售后服務。
公司簡介:
GBS 是一家基于相干掃描(白光)干涉測量法的光學 3D 傳感器的公司,現在提供完整的晶圓檢測系統,這些系統配置為在潔凈室條件下運行。
主要產品:
3D 光學輪廓儀、光學3D 傳感器
德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器產品型號:
smartWLI compact、smartWLI firebolt、smartWLI next
德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器產品介紹:
晶片具有非常光滑的表面,因此使用基于壓電陶瓷相干掃描(白光)干涉測量法的高分辨率傳感器來完成相應的測量任務。雖然只有一個鏡頭的傳感器(smartWLI compact、smartWLI firebolt)用于單個過程的在線監控,但自動晶圓測量站通常配備 smartWLI next 和 smartWLI firebolt 等傳感器。這些傳感器可以配備不同的鏡頭并用于不同的測量任務。
smartWLI compact傳感器將緊湊的尺寸與出色的分辨率和實惠的價格相結合。該傳感器配備 2 個不同的相機和一個手動可更換物鏡,是重復測量類似樣品和需要相似橫向分辨率的測量任務的理想選擇。各種支架、花崗巖龍門、振動傾倒系統和自動傾斜裝置可以允許使用 smartWLI compact 作為高性能測量的關鍵組件來配置定制的光學 3d 輪廓儀。
德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器技術優勢:
測量點距離為 0.03 μm,橫向周期極限 DLIM < 0.5 μm,可以快速輕松地測量晶圓上的小特征或測試結構,并具有高的高度分辨率
德國gbs 晶圓表面測量光學傳感器應用領域:
超拋光 SiC 表面、拋光晶圓、研磨硅片、黑硅、結構化晶圓表面測量。