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ATS CHILLER M-PAK 冰水機維修
ATS生產的一種高效、可靠的冷卻設備,應用于多個行業,特別是半導體制造和精密加工領域。ATS Chiller基于蒸發冷卻原理,通過壓縮機、冷凝器、膨脹閥和蒸發器等組件,將冷媒氣體轉化為冷卻水,以滿足工業生產中對冷卻和溫度控制的需求?。
ATS CHILLER M-PAK 冰水機維修
半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置,屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,并采用變頻控制及兩級閉環節能控制,顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。
應用于半導體行業蝕刻裝置,CMP(工藝機械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
變頻控制,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節能
兩級閉環節能控制
應用領域
激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線(數字式)設備等
zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller
溫度范圍:-20°C~+90°C
控溫精度:±0.1℃
觸摸屏操作,人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小