德國(guó)Kleindiek微操縱儀
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅(qū)動(dòng)單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級(jí)精確移動(dòng)，在保證納米級(jí)移動(dòng)的同時(shí)其的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米級(jí)的移動(dòng)范圍，整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。
德國(guó)KleindiekNanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀的突出特點(diǎn)：
納米操縱精確度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向最小移動(dòng)距離為5nm，在Z方向最小移動(dòng)距離為0.5nm。
快慢可調(diào)的操作速度：可以選擇一個(gè)步進(jìn)0.5nm，也可以選擇移動(dòng)速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細(xì)操作地結(jié)合在一起。
緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內(nèi)安裝1~8個(gè)系統(tǒng)。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉(zhuǎn)，Z軸方向做12mm的伸長(zhǎng)，MM3A可操作的空間范圍達(dá)100cm3。
幾乎無(wú)漂移：我們?cè)?jīng)做過(guò)實(shí)驗(yàn)MM3A鎢探針針尖在場(chǎng)發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時(shí)后通過(guò)對(duì)照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產(chǎn)生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺(tái)上，該平臺(tái)再固定在電鏡的樣品臺(tái)上，整個(gè)安放過(guò)程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時(shí)將平臺(tái)卸下取出既可。控制線通過(guò)電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會(huì)影響電鏡的真空。
