希而科優勢供應德國AeroLas空氣空氣靜力軸承,德國AeroLas空氣驅動系統,德國AeroLas氣浮軸承。
產品用途:
超精密二維測量平臺
應用范圍: 半導體技術
應用: 測量孔的通否/過光
行程: 340 mm x 330 mm
定位精度: < 10 nm (全程范圍內)
驅動方式: 磨擦輪驅動
zui大加速度: 0.25 m/s2
高動態直線電機
采用AeroLas的空氣軸承可以使直線電機有極其高的精度和高動態特性:實際加速度達到400 m/s2 (理論上可達 1.000.000 m/s2).
應用于齒輪測量,幾年來已連續運行60億次以上
行程: 100 mm
負載:2 kg
高加速度雙軌式直線電機
截面:500 mm x 250 mm),加速度達300 m/s2且精密定位。 采用空氣軸承,受溫度變化影響小,電纜不動,行程: 150 mm
負載:10 kg
zui大加速度: > 300 m/s2
zui大速度: 4.7 m/s