氫氣(H2)熱導氣體傳感器
氫氣(H2)熱導氣體傳感器主要的結構工作方式是在主氣路上部設置測量氣室,待測氣體通過擴散作用進入測量室,由于測量室中待測氣體與主氣路中的氣體進行熱交換,再經主氣路排出。這種結構適應于質量較小的氣體的流量,因為質量較小的氣體擴散系數大。用這種類型結構的傳感器來測量質量較小的氣體的成分量時,滯后時間較小,受氣體流量波動的影響也較小。而對于擴散系數較小的氣體,如二氧化碳,測帶后的時間要增大。但如果減小測量室的體積,反應速度可以提高。
,采用*的MEMS加工技術生產,利用被測組份和參考氣體的熱導系數不同而響應的濃度型傳感器。產品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護簡單等優點。
主要是檢測氫氣(H2),天然氣,甲烷(CH4)、二氧化碳(CO2),一氧化碳(CO),六氟化硫(SF6),疝氣(Xe),氦氣(He),氨氣(NH3)等氣體成份檢測,也可用于測量非常小的氣體容積變化。
特點
測量精度高
靈敏度高
集成溫度補償,漂移小
體積小,響應速度快
可以測量微小的氣體容量
高性價比
TO8封裝,抗沖擊能力強
應用
天然氣的成份和來源分析
垃圾填埋,沼氣池中CO2和CH4含量
空氣混合物中的He或Xe含量
發電廠氫冷電機組循環氣中H2含量
工業窯爐、鍋爐的廢氣中CO2含量
化肥廠合成NH3與補充氣比例
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